| 品 ?????牌： | KRI |
| 單????? 價(jià)： | 面議面議 |
| 最小起訂： | 1 臺(tái) |
| 發(fā)貨期限： | 自買家付款之日起 60起 天內(nèi)發(fā)貨 |
| 所??在?地： | 上海市 上海 |
| 供貨總量： | 1000 臺(tái) |
| 有效期至： | 長(zhǎng)期有效 |
| 聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)?zhí)峒霸诎俜骄W(wǎng)看到，會(huì)有優(yōu)惠。 | |
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上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 220, 大面積高能量柵極離子源.
離子束流: >800 mA; 離子動(dòng)能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 壓力: < 0.5m Torr
離子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng).
通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):
離子源型號(hào) | RFICP 220 |
Discharge | RFICP 射頻 |
離子束流 | >800 mA |
離子動(dòng)能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 20 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 10-40 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長(zhǎng)度 | 30 cm |
直徑 | 41 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長(zhǎng)度的增量
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 預(yù)清洗
2. 表面改性
3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,
4. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
6. 離子蝕刻 IBE
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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