主要技術(shù)參數(shù)：1.極限真空度：5x10-4Pa；2.工作真空度：6.67x10-3Pa；3.抽速：從大氣抽至6.67x10-3Pa，＜12分鐘；4. 壓升率：0.35Pa/小時；5. 自轉(zhuǎn)軸中心距：210mm或165mm可互換； 6.工位：24個或18個可互換；7. 電氣控制系統(tǒng)：PLC全自動控制，可動行多種工藝設(shè)置。產(chǎn)品名稱 PVD1612G 數(shù)量真空系1.2x70旋片泵三臺；2.RTO·300S羅茨泵一臺；3.TYFB-3600分子泵三臺；4.閥門：GDZ3X400A高閥（全不銹鋼結(jié)構(gòu)），前級閥、預(yù)抽閥、維持閥、截止閥以上均為GDQ100型不銹鋼結(jié)構(gòu)，DDC-JQ80型電磁真空帶充氣閥為上海二閥電磁閥，旁通閥為羅茨泵內(nèi)安裝閥；5.管道為全不銹鋼結(jié)構(gòu)，分子泵出口為波紋管連接。1套 真空室 1.罐體材料為太鋼SUS304不銹鋼帶水冷套結(jié)構(gòu)，內(nèi)尺寸Φ1600x1200mm，內(nèi)壁厚10mm，上蓋板布置8對（16支）磁控靶位孔位，對靶間距兩工位，自轉(zhuǎn)直徑為Ø120或Ø180，抽氣口兩側(cè)排布兩組八支弧源，門上兩個觀察窗；2.工件支桿1套，Ø8mm；3.內(nèi)襯板2套； 4.布氣管路；5.放氣閥加裝空氣濾清器；6.轉(zhuǎn)架為下轉(zhuǎn)架，帶屏蔽罩。1套 偏壓電源 脈沖逆變PLS50KW 1臺 中頻電源中頻逆變MF40KW 8臺弧電源直流逆變DC160A8臺